Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/29951| Название: | Адгезионные и прочностные свойства пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии, облученных гамма-квантами |
| Авторы: | Вабищевич, С. А. Бринкевич, Д. И. Вабищевич, Н. В. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | Минск: БГУ |
| Библиографическое описание: | Адгезионные и прочностные свойства пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии, облученных гамма-квантами / С. А. Вабищевич [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : материалы IX Международной научной конференции, Минск, 14–16 окт. 2020 г. / редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 161-166. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/29951 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 161-166.pdf | 665.34 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.