Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок

Abstract

Исследованы оптические и прочностные свойства пленок полиимидной композиции (полиимида PI-2610) для создания жертвенного слоя, нанесенной на поверхность пластин монокристаллического кремния марки КДБ-10 методом центрифугирования. Установлено, что они ведут себя как упругопластические материалы. Истинная микротвердость полиимида PI-2610, измеренная при нагрузке 2 г, составляла ~0,5 ГПа. Проведено сравнение спектров нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) полиимида PI-2610 со спектрами НПВО пиррола и полиимида марки каптон. В спектре НПВО полиимида PI-2610 присутствуют полосы колебаний 5-членного кольца и валентных колебаний групп С–Nst и СО–Сst. Наиболее интенсивной полосой в спектре НПВО (как и в пирроле) является полоса деформационных колебаний С–Н с максимумом при 734 см-1. Полоса при ~1700 см-1, обусловленная валентными колебаниями двойной связи С=О, имеет два близкорасположенных максимума при 1706 и 1692 см-1, что свидетельствует о двух вариантах силового поля вокруг связи С=О. Обнаружено присутствие в спектрах полиимида PI-2610 гидроксильных О–Н-групп, обусловленных наличием остаточной воды в структуре полиимида.