Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/36164
Название: Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок
Авторы: Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Просолович, В. С.
Колос, В. В.
Зубова, О. А.
Vabishchevich, S.
Vabishchevich, N.
Brinkevich, D.
Prosolovich, V.
Kolos, V.
Zubova, O.
Другие названия: Optical and Strength Properties of Sacrificial Layers Based on Polyimide Films
Дата публикации: 2022
Издатель: Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой
Библиографическое описание: Вабищевич, С. А. Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Колос, О. А. Зубова // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2022. - № 11. - С. 53-58. 10.52928/2070-1624-2022-39-11-53-58
Аннотация: Исследованы оптические и прочностные свойства пленок полиимидной композиции (полиимида PI-2610) для создания жертвенного слоя, нанесенной на поверхность пластин монокристаллического кремния марки КДБ-10 методом центрифугирования. Установлено, что они ведут себя как упругопластические материалы. Истинная микротвердость полиимида PI-2610, измеренная при нагрузке 2 г, составляла ~0,5 ГПа. Проведено сравнение спектров нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) полиимида PI-2610 со спектрами НПВО пиррола и полиимида марки каптон. В спектре НПВО полиимида PI-2610 присутствуют полосы колебаний 5-членного кольца и валентных колебаний групп С–Nst и СО–Сst. Наиболее интенсивной полосой в спектре НПВО (как и в пирроле) является полоса деформационных колебаний С–Н с максимумом при 734 см-1. Полоса при ~1700 см-1, обусловленная валентными колебаниями двойной связи С=О, имеет два близкорасположенных максимума при 1706 и 1692 см-1, что свидетельствует о двух вариантах силового поля вокруг связи С=О. Обнаружено присутствие в спектрах полиимида PI-2610 гидроксильных О–Н-групп, обусловленных наличием остаточной воды в структуре полиимида.
Аннотация на другом языке: Optical and strength properties of films of a polyimide composition (polyimide PI-2610) for creating a sacrificial layer deposited on the surface of single-crystal silicon plates of the KDB-10 brand by centrifugation are investigated. It has been established that they behave like elastoplastic materials. The true microhardness of polyimide PI-2610, measured at a load of 2 g, was ~0,5 GPa. The spectra of the disturbed total internal reflection (NPVO) of polyimide PI-2610 were compared with the spectra of the NPVO of pyrrole and kapton polyimide. In the spectrum of the polyimide PI-2610, there are bands of vibrations of the 5-membered ring and valence vibrations of the C–Nst and CO–Cst groups. The most intense band in the spectrum of NPVO (as in pyrrole) is the band of deformation vibrations C-H with a maximum at 734 cm-1. The band at ~1700 cm-1, caused by valence vibrations of the C=O double bond, has two closely spaced maxima at 1706 and 1692 cm-1, which indicates two variants of the force field around the C=O bond. The presence of hydroxyl O–H groups in the spectra of polyimide PI-2610 was detected due to the presence of residual water in the polyimide structure.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.psu.by/handle/123456789/36164
Права доступа: open access
DOI: 10.52928/2070-1624-2022-39-11-53-58
Располагается в коллекциях:2022, № 11

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
53-58.pdf901.67 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.