1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в зарубежных изданиях
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/37998
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorКолос, В. В.-
dc.contributor.authorЗубова, О. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.date.accessioned2023-02-17T11:01:31Z-
dc.date.available2023-02-17T11:01:31Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationАдгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии / Просолович В. С. [и др.] // XIV Международная конференция и XIII Школа молодых ученых «Кремний-2022», Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г. - Новосибирск, 2022. – С. 124. DOI 10.34077/SILICON2022-124.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/37998-
dc.language.isoruru_RU
dc.titleАдгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографииru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.doi10.34077/SILICON2022-124-
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
124.pdf345.21 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.