Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/37998| Название: | Адгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии |
| Авторы: | Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Колос, В. В. Зубова, О. А. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. |
| Дата публикации: | 2022 |
| Библиографическое описание: | Адгезионные и прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии / Просолович В. С. [и др.] // XIV Международная конференция и XIII Школа молодых ученых «Кремний-2022», Новосибирск, 26-30 сентября 2022 г. - Новосибирск, 2022. – С. 124. DOI 10.34077/SILICON2022-124. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/37998 |
| DOI: | 10.34077/SILICON2022-124 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 124.pdf | 345.21 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.