Формирование фторуглеродных покрытий реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита

Abstract

Исследованы процессы формирования фторуглеродных покрытий реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита в среде аргона и хладона. Скорость нанесения покрытий росла при увеличении парциального давления хладона, что может быть связано с процессами плазменной полимеризации фторуглеродов. Установлено, что величины диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь уменьшались при росте содержания CF4, что можно объяснить увеличением степени химического взаимодействия между углеродом и фтором. Добавка хладона к аргону позволила также значительно повысить электрические прочность и удельное объемное сопротивление покрытий. Повышение температуры подложки привело к некоторому ухудшению электрофизических характеристик покрытий, что можно объяснить десорбцией фтора из покрытия. Покрытия обладали высокой прозрачностью в видимом диапазоне, что свидетельствует об образовании химических связей углерода с фтором.