Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38099Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-02-22T08:31:34Z | - |
| dc.date.available | 2023-02-22T08:31:34Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Вабищевич, С. А. Прочностные свойства облученных электронами диазохинонноволачных фоторезистов / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович // Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики [Электронный ресурс] : электронный сборник статей I Международной научно-практической конференции, Новополоцк, 27–28 окт. 2022 г. / Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой. – Новополоцк, 2023. – С. 28-33. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/38099 | - |
| dc.description.abstract | Методом индентирования изучены прочностные свойства облученных электронами с энергией 5 МэВ флюенсом 3?1016 см-2 пленок диазохинонноволачных фоторезистов ФП9120, SPR-700 и S1813 G2 SP15 на кремнии. Обнаружено возрастание при облучении микротвердости фоторезистивных пленок, обусловленное сшивками молекул фенолформальдегидной смолы, входящей в состав фоторезистов. Установлено, что при облучении имеет место снижение адгезии диазохинонноволачных фоторезистов к монокристаллическому кремнию. К снижению адгезии могут приводить сшивание макромолекул новолака в объеме полимера с изменением плотности фоторезиста и релаксация напряжений в пленке вследствие конформационных перестроек макромолекул в процессе облучения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой | ru_RU |
| dc.title | Прочностные свойства облученных электронами диазохинонноволачных фоторезистов | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.citation.spage | 28 | ru_RU |
| dc.citation.epage | 33 | ru_RU |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики. 2023 | |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.