Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/38099
Название: Прочностные свойства облученных электронами диазохинонноволачных фоторезистов
Авторы: Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Просолович, В. С.
Дата публикации: 2023
Издатель: Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой
Библиографическое описание: Вабищевич, С. А. Прочностные свойства облученных электронами диазохинонноволачных фоторезистов / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович // Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики [Электронный ресурс] : электронный сборник статей I Международной научно-практической конференции, Новополоцк, 27–28 окт. 2022 г. / Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой. – Новополоцк, 2023. – С. 28-33.
Аннотация: Методом индентирования изучены прочностные свойства облученных электронами с энергией 5 МэВ флюенсом 3?1016 см-2 пленок диазохинонноволачных фоторезистов ФП9120, SPR-700 и S1813 G2 SP15 на кремнии. Обнаружено возрастание при облучении микротвердости фоторезистивных пленок, обусловленное сшивками молекул фенолформальдегидной смолы, входящей в состав фоторезистов. Установлено, что при облучении имеет место снижение адгезии диазохинонноволачных фоторезистов к монокристаллическому кремнию. К снижению адгезии могут приводить сшивание макромолекул новолака в объеме полимера с изменением плотности фоторезиста и релаксация напряжений в пленке вследствие конформационных перестроек макромолекул в процессе облучения.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.psu.by/handle/123456789/38099
Располагается в коллекциях:Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики. 2023

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
28-33.pdf832.93 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.