1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Сборники научных трудов и конференций
  3. Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики
  4. Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики. 2023
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/38128
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorКорячко, М. В.ru_RU
dc.contributor.authorПшонкин, Д. Е.ru_RU
dc.date.accessioned2023-02-22T08:31:36Z-
dc.date.available2023-02-22T08:31:36Z-
dc.date.issued2023
dc.identifier.citationКорячко, М. В. Электротепловое разрушение межсоединений поверхности тонкой пленки нитрида кремния на кремнии в технологии устройств нано- и микросистемной техники / М. В. Корячко, Д. Е. Пшонкин // Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики [Электронный ресурс] : электронный сборник статей I Международной научно-практической конференции, Новополоцк, 27–28 окт. 2022 г. / Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой. – Новополоцк, 2023. – С. 46-51.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/38128-
dc.description.abstractВ работе рассматриваются механизмы формирования расплавленных зон в процессе электрического взрыва тонких пленок алюминия на поверхности пленок нитрида кремния. Проведена оценка величины градиента температур вблизи дорожки металлизации, а также характерных времен динамики расплавленных зон под действием температурного градиента. Обнаружено, что после прохождения одиночного импульса тока дорожка системы Al-Si3N4-Si оплавляется без разрывов. Работа выполнена в рамках гранта Президента Российской Федерации для государственной поддержки молодых ученых (проект МК-1156.2021.4).ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherПолоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкойru_RU
dc.titleЭлектротепловое разрушение межсоединений поверхности тонкой пленки нитрида кремния на кремнии в технологии устройств нано- и микросистемной техникиru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.citation.spage46ru_RU
dc.citation.epage51ru_RU
Располагается в коллекциях:Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики. 2023

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
46-51.pdf1.29 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Порекомендовать ресурс Google Scholar


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.