Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38128Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Корячко, М. В. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Пшонкин, Д. Е. | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-02-22T08:31:36Z | - |
| dc.date.available | 2023-02-22T08:31:36Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Корячко, М. В. Электротепловое разрушение межсоединений поверхности тонкой пленки нитрида кремния на кремнии в технологии устройств нано- и микросистемной техники / М. В. Корячко, Д. Е. Пшонкин // Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики [Электронный ресурс] : электронный сборник статей I Международной научно-практической конференции, Новополоцк, 27–28 окт. 2022 г. / Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой. – Новополоцк, 2023. – С. 46-51. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/38128 | - |
| dc.description.abstract | В работе рассматриваются механизмы формирования расплавленных зон в процессе электрического взрыва тонких пленок алюминия на поверхности пленок нитрида кремния. Проведена оценка величины градиента температур вблизи дорожки металлизации, а также характерных времен динамики расплавленных зон под действием температурного градиента. Обнаружено, что после прохождения одиночного импульса тока дорожка системы Al-Si3N4-Si оплавляется без разрывов. Работа выполнена в рамках гранта Президента Российской Федерации для государственной поддержки молодых ученых (проект МК-1156.2021.4). | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой | ru_RU |
| dc.title | Электротепловое разрушение межсоединений поверхности тонкой пленки нитрида кремния на кремнии в технологии устройств нано- и микросистемной техники | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.citation.spage | 46 | ru_RU |
| dc.citation.epage | 51 | ru_RU |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики. 2023 | |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.