Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38128| Название: | Электротепловое разрушение межсоединений поверхности тонкой пленки нитрида кремния на кремнии в технологии устройств нано- и микросистемной техники |
| Авторы: | Корячко, М. В. Пшонкин, Д. Е. |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издатель: | Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой |
| Библиографическое описание: | Корячко, М. В. Электротепловое разрушение межсоединений поверхности тонкой пленки нитрида кремния на кремнии в технологии устройств нано- и микросистемной техники / М. В. Корячко, Д. Е. Пшонкин // Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики [Электронный ресурс] : электронный сборник статей I Международной научно-практической конференции, Новополоцк, 27–28 окт. 2022 г. / Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой. – Новополоцк, 2023. – С. 46-51. |
| Аннотация: | В работе рассматриваются механизмы формирования расплавленных зон в процессе электрического взрыва тонких пленок алюминия на поверхности пленок нитрида кремния. Проведена оценка величины градиента температур вблизи дорожки металлизации, а также характерных времен динамики расплавленных зон под действием температурного градиента. Обнаружено, что после прохождения одиночного импульса тока дорожка системы Al-Si3N4-Si оплавляется без разрывов. Работа выполнена в рамках гранта Президента Российской Федерации для государственной поддержки молодых ученых (проект МК-1156.2021.4). |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/38128 |
| Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы физики, электроники и энергетики. 2023 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|
| 46-51.pdf | 1.29 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.