Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы

Басинюк, В. Л.; Волкотруб, Р. Е.; Лобкова, М. П.; Калиниченко, А. С.; Ковенский, А. Е.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/38391

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Басинюк, В. Л.	ru
dc.contributor.author	Волкотруб, Р. Е.	ru
dc.contributor.author	Лобкова, М. П.	ru
dc.contributor.author	Калиниченко, А. С.	ru
dc.contributor.author	Ковенский, А. Е.	ru
dc.date.accessioned	2023-04-20T07:12:04Z	-
dc.date.available	2023-04-20T07:12:04Z	-
dc.date.issued	2023
dc.identifier.citation	Басинюк, В. Л. Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы / В. Л. Басинюк, Р. Е. Волкотруб, М. П. Лобкова, А. С. Калиниченко, А. Е. Ковенский // Инновационные технологии в машиностроении [Электронный ресурс] : электрон. сб. материалов междунар. науч.-техн. конф., посвящ. 55-летию Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой, Новополоцк, 18-19 апр. 2023 г. / Полоц. гос. ун-т им. Евфросинии Полоцкой; под. ред. В. К. Шелега; Н. Н. Попок. – Новополоцк : Полоц. гос. ун-т им. Евфросинии Полоцкой, 2023. – С. 142-144.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://elib.psu.by/handle/123456789/38391	-
dc.description.abstract	Приведены результаты исследований в области разработки методических основ создания адаптивной системы управления приводными системами прецизионного оборудования микроэлектроники на примере автомата ОАО «Планар» для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы. Для повышения производительности и увеличения стойкости алмазного режущего диска предложено использование при адаптивном управлении мониторинга параметров механических колебаний рабочего стола с собственными частотами и вынужденных колебаний высокоскоростного прецизионного электрошпинделя с аэростатическими опорами, возникающими при функционировании их приводов. Работа выполнена при финансовой поддержке БРФФИ (грант № Т23МЭ-008).	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой	ru
dc.title	Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы	ru
dc.type	Article	ru
dc.citation.spage	142	ru_RU
dc.citation.epage	144	ru_RU
Appears in Collections:	Инновационные технологии в машиностроении. 2023

Files in This Item:

File	Size	Format
142-144.pdf	671.74 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Recommend this item Google Scholar