Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38391| Title: | Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы |
| Authors: | Басинюк, В. Л. Волкотруб, Р. Е. Лобкова, М. П. Калиниченко, А. С. Ковенский, А. Е. |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет имени Евфросинии Полоцкой |
| Citation: | Басинюк, В. Л. Адаптивное управление приводными системами оборудования для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы / В. Л. Басинюк, Р. Е. Волкотруб, М. П. Лобкова, А. С. Калиниченко, А. Е. Ковенский // Инновационные технологии в машиностроении [Электронный ресурс] : электрон. сб. материалов междунар. науч.-техн. конф., посвящ. 55-летию Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой, Новополоцк, 18-19 апр. 2023 г. / Полоц. гос. ун-т им. Евфросинии Полоцкой; под. ред. В. К. Шелега; Н. Н. Попок. – Новополоцк : Полоц. гос. ун-т им. Евфросинии Полоцкой, 2023. – С. 142-144. |
| Abstract: | Приведены результаты исследований в области разработки методических основ создания адаптивной системы управления приводными системами прецизионного оборудования микроэлектроники на примере автомата ОАО «Планар» для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы. Для повышения производительности и увеличения стойкости алмазного режущего диска предложено использование при адаптивном управлении мониторинга параметров механических колебаний рабочего стола с собственными частотами и вынужденных колебаний высокоскоростного прецизионного электрошпинделя с аэростатическими опорами, возникающими при функционировании их приводов. Работа выполнена при финансовой поддержке БРФФИ (грант № Т23МЭ-008). |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/38391 |
| Appears in Collections: | Инновационные технологии в машиностроении. 2023 |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 142-144.pdf | 671.74 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.