Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38468Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
| dc.contributor.author | Волобуев, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Лукашевич, М. Г. | - |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-05-17T11:54:27Z | - |
| dc.date.available | 2023-05-17T11:54:27Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний / Д. И. Бринкевич, Н. В. Вабищевич, В. С. Волобуев [и др.] // Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Минск: Белорусский государственный университет, 2010. – С. 208-211. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/38468 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Минск : БГУ | ru_RU |
| dc.title | Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь | |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.