Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38468
Название: | Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний |
Авторы: | Бринкевич, Д. И. Вабищевич, Н. В. Волобуев, В. С. Лукашевич, М. Г. Просолович, В. С. Оджаев, В. Б. |
Дата публикации: | 2010 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Библиографическое описание: | Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний / Д. И. Бринкевич, Н. В. Вабищевич, В. С. Волобуев [и др.] // Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Минск: Белорусский государственный университет, 2010. – С. 208-211. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/38468 |
Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
43-45.pdf | 544.7 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.