Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/38468
Название: Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний
Авторы: Бринкевич, Д. И.
Вабищевич, Н. В.
Волобуев, В. С.
Лукашевич, М. Г.
Просолович, В. С.
Оджаев, В. Б.
Дата публикации: 2010
Издатель: Минск : БГУ
Библиографическое описание: Исследование методом микроиндентирования имплантированных низкоэнергетичными ионами Sb+ структур фотополимер-кремний / Д. И. Бринкевич, Н. В. Вабищевич, В. С. Волобуев [и др.] // Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Минск: Белорусский государственный университет, 2010. – С. 208-211.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.psu.by/handle/123456789/38468
Располагается в коллекциях:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
43-45.pdf544.7 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.