Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/38470
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorЯнковский, Ю. Н.-
dc.date.accessioned2023-05-17T13:26:07Z-
dc.date.available2023-05-17T13:26:07Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationМикромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфора / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом : Материалы 9-й Международной конференции, Минск, 20–22 сентября 2011 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2011. – С. 104-106.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/38470-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМинск : БГУru_RU
dc.titleМикромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфораru_RU
dc.typeArticleru_RU
Располагается в коллекциях:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
104-106.pdf253.97 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.