Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38470| Название: | Микромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфора |
| Авторы: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. |
| Дата публикации: | 2011 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание: | Микромеханические свойства слоев кремния, имплантированных ионами бора и фосфора / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом : Материалы 9-й Международной конференции, Минск, 20–22 сентября 2011 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2011. – С. 104-106. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/38470 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 104-106.pdf | 253.97 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.