Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/38474
Title: Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния
Authors: Просолович, В. С.
Бринкевич, Д. И.
Янковский, Ю. Н.
Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Issue Date: 2013
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния / В. С. Просолович, Д. И. Бринкевич, Ю. Н. Янковский [и др.] // Взаимодействие излучений с твердым телом : Материалы X Международной конференции, Минск, Беларусь, 24–27 сентября 2013 года / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В.М. Анищик. – Минск, Беларусь: Издательский центр БГУ, 2013. – С. 217-219.
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/38474
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
217-219.pdf234.58 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.