1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в изданиях Республики Беларусь
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/38475
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorРусакевич, Д. А.-
dc.contributor.authorЯнковский, Ю. Н.-
dc.date.accessioned2023-05-18T06:38:21Z-
dc.date.available2023-05-18T06:38:21Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationМодификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : Сборник научных трудов VI Международной научной конференции, Минск, 08–09 октября 2014 года / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск: Белорусский государственный университет, 2014. – С. 109-112.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/38475-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМинск : БГУru_RU
dc.titleМодификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремнияru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
109-112.pdf247.72 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.