Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38475| Название: | Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния |
| Авторы: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Русакевич, Д. А. Янковский, Ю. Н. |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание: | Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : Сборник научных трудов VI Международной научной конференции, Минск, 08–09 октября 2014 года / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск: Белорусский государственный университет, 2014. – С. 109-112. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/38475 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 109-112.pdf | 247.72 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.