1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в изданиях Республики Беларусь
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/38477
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.contributor.authorЯнковский, Ю. Н.-
dc.date.accessioned2023-05-18T07:27:06Z-
dc.date.available2023-05-18T07:27:06Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationМодификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействиях / В. С. Просолович, Д. И. Бринкевич, С. А. Вабищевич [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : Сборник научных трудов VII Международной научной конференции, посвященной 50-летию кафедры физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 октября 2016 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2016. – С. 153-155.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/38477-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМинск : БГУru_RU
dc.titleМодификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействияхru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
153-155.pdf474.6 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.