Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/38477| Название: | Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействиях |
| Авторы: | Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Янковский, Ю. Н. |
| Дата публикации: | 2016 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание: | Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействиях / В. С. Просолович, Д. И. Бринкевич, С. А. Вабищевич [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : Сборник научных трудов VII Международной научной конференции, посвященной 50-летию кафедры физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 октября 2016 года. – Минск: Белорусский государственный университет, 2016. – С. 153-155. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/38477 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 153-155.pdf | 474.6 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.