1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в изданиях Республики Беларусь
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/39122
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorЧерный, В. В.-
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.date.accessioned2023-11-03T11:26:27Z-
dc.date.available2023-11-03T11:26:27Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationИндентирование облученных электронами пленок позитивных новолачных фоторезистов на кремнии / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 144-145.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/39122-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМинск : БНТУru_RU
dc.titleИндентирование облученных электронами пленок позитивных новолачных фоторезистов на кремнииru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
144-145.pdf319.94 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.