Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/39122| Название: | Индентирование облученных электронами пленок позитивных новолачных фоторезистов на кремнии |
| Авторы: | Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Черный, В. В. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Минск : БНТУ |
| Библиографическое описание: | Индентирование облученных электронами пленок позитивных новолачных фоторезистов на кремнии / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 144-145. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/39122 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 144-145.pdf | 319.94 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.