Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/39128
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorЯнковский, Ю. Н.-
dc.date.accessioned2023-11-03T12:18:49Z-
dc.date.available2023-11-03T12:18:49Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationЗависимость физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния от метода выращивания / В. С. Просолович [и др.] // Тезисы докладов VII Международной конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «КРЕМНИЙ–2010» (Нижний Новгород, 6–9 июля 2010 г.) / Под редакцией З.Ф. Красильника, Д.А. Павлова. – Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета, 2010. - С. 32.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/39128-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherНижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситетаru_RU
dc.titleЗависимость физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния от метода выращиванияru_RU
dc.typeThesisru_RU
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
32.pdf225.97 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.