Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/39128| Title: | Зависимость физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния от метода выращивания |
| Authors: | Просолович, В. С. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Янковский, Ю. Н. |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета |
| Citation: | Зависимость физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния от метода выращивания / В. С. Просолович [и др.] // Тезисы докладов VII Международной конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе «КРЕМНИЙ–2010» (Нижний Новгород, 6–9 июля 2010 г.) / Под редакцией З.Ф. Красильника, Д.А. Павлова. – Нижний Новгород: Изд-во Нижегородского госуниверситета, 2010. - С. 32. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/39128 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.