Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/434
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Спресов, И. Н. | - |
dc.date.accessioned | 2013-10-17T07:55:23Z | - |
dc.date.available | 2013-10-17T07:55:23Z | - |
dc.date.issued | 2011 | - |
dc.identifier.citation | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки: научно-теоретический журнал.- Новополоцк : ПГУ, 2011. - № 4.- С. 106-113. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/434 | - |
dc.description | Simulation of Physical Processes Formation of Micro-And Nanostructures Expedite the Flow of Ions of Inert and Reactive Gases / I. Spresov | ru_RU |
dc.description.abstract | Рассматриваются физико-технологические процессы формирования микро- и наноструктур ускоренными потоками ионов инертных и реактивных газов. Предложена модель процесса нанесения тонких пленок на подложках с микронным рельефом. Обоснована эффективность применения ионных потоков при формировании тонких пленок, а также в различных областях современной науки и техники. На основании математической модели исследованы различные формы подложки относительно ионного потока. При увеличении расстояния между подложкой и источником толщина пленки уменьшается. Скорость напыления максимальна при минимальном угле наклона между подложкой и источником. При увеличении времени напыления толщина пленки возрастает пропорционально времени, а при увеличении угла наклона подложки к горизонтальной плоскости толщина пленки уменьшается. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Полоцкий государственный университет | ru_RU |
dc.relation.ispartof | Веснік Полацкага дзяржаўнага ўніверсітэта. Серыя C, Фундаментальныя навукі | be_BE |
dc.relation.ispartof | Herald of Polotsk State University. Series C, Fundamental sciences | en_EN |
dc.relation.ispartof | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки | ru_RU |
dc.relation.ispartofseries | Серия C, Фундаментальные науки;2011. - № 4 | - |
dc.rights | open access | ru_RU |
dc.subject | Обработка материалов | ru_RU |
dc.subject | моделирование процессов | ru_RU |
dc.subject | физико-технологические процессы | ru_RU |
dc.subject | микроструктуры | ru_RU |
dc.subject | наноструктуры | ru_RU |
dc.subject | инертные газы | ru_RU |
dc.subject | языки программирования | ru_RU |
dc.subject | программные комплексы | ru_RU |
dc.title | Моделирование физико-технологических процессов формирования микро- и наноструктур ускоренными потоками ионов инертных и реактивных газов | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
Appears in Collections: | 2011, № 4 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
106-113.pdf | 447.17 kB | Adobe PDF | ![]() View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.