Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/434
Title: | Моделирование физико-технологических процессов формирования микро- и наноструктур ускоренными потоками ионов инертных и реактивных газов |
Authors: | Спресов, И. Н. |
Issue Date: | 2011 |
Publisher: | Полоцкий государственный университет |
Citation: | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки: научно-теоретический журнал.- Новополоцк : ПГУ, 2011. - № 4.- С. 106-113. |
Abstract: | Рассматриваются физико-технологические процессы формирования микро- и наноструктур ускоренными потоками ионов инертных и реактивных газов. Предложена модель процесса нанесения тонких пленок на подложках с микронным рельефом. Обоснована эффективность применения ионных потоков при формировании тонких пленок, а также в различных областях современной науки и техники. На основании математической модели исследованы различные формы подложки относительно ионного потока. При увеличении расстояния между подложкой и источником толщина пленки уменьшается. Скорость напыления максимальна при минимальном угле наклона между подложкой и источником. При увеличении времени напыления толщина пленки возрастает пропорционально времени, а при увеличении угла наклона подложки к горизонтальной плоскости толщина пленки уменьшается. |
Keywords: | Обработка материалов моделирование процессов физико-технологические процессы микроструктуры наноструктуры инертные газы языки программирования программные комплексы |
URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/434 |
metadata.dc.rights: | open access |
Appears in Collections: | 2011, № 4 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
106-113.pdf | 447.17 kB | Adobe PDF | ![]() View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.