Синтез тонких пленок оксида алюминия прямым осаждением из ионных пучков

Abstract

Экспериментально исследовано влияние парциального давления кислорода в рабочем газе на электрофизические, оптические и структурные характеристики пленок из оксида алюминия, полученных осаждением из ионных пучков. Установлено, что пропускание резко растет уже при парциальном давлении кислорода 8·10–3 Па, составляет 88–92 % в видимой и инфракрасной областях спектра, что свидетельствует об интенсивном окислении атомов алюминия. Покрытия обладали n = 1,55…1,63, что совпадает с коэффициентами преломления пленок диоксида алюминия. Установлено, что значения диэлектрической проницаемости ? и удельного объемного сопротивления ?v увеличивались, а тангенса диэлектрических потерь tg? – уменьшались с ростом парциального давления кислорода в рабочем газе. Коэффициент трения снижается при увеличении парциального давления кислорода. Это можно объяснить формированием более твердой фазы, включающей соединения алюминия с кислородом. Установлено, что покрытия обладали мелкозернистой аморфной структурой и имели хорошую адгезию к подложкам.