Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/47914
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorЧерный, В. В.-
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.date.accessioned2025-05-30T11:13:34Z-
dc.date.available2025-05-30T11:13:34Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationПрочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 290-291.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/47914-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМинск : БНТУru_RU
dc.titleПрочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебраru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
290-291.pdf303.78 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.