Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/47914
Название: Прочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра
Авторы: Бринкевич, Д. И.
Просолович, В. С.
Черный, В. В.
Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Дата публикации: 2023
Издатель: Минск : БНТУ
Библиографическое описание: Прочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 290-291.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.psu.by/handle/123456789/47914
Располагается в коллекциях:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
290-291.pdf303.78 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.