Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/48712Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2025-11-26T08:11:26Z | - |
| dc.date.available | 2025-11-26T08:11:26Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Бринкевич, Д. И. Модификация при хранении пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами сурьмы / Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич // Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2024. – С. 37-42. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/48712 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Минск : БГУ | ru_RU |
| dc.title | Модификация при хранении пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами сурьмы | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 37-42.pdf | 378.8 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.