1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в изданиях Республики Беларусь
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/48712
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorВабищевич, С. А.-
dc.contributor.authorВабищевич, Н. В.-
dc.date.accessioned2025-11-26T08:11:26Z-
dc.date.available2025-11-26T08:11:26Z-
dc.date.issued2024-
dc.identifier.citationБринкевич, Д. И. Модификация при хранении пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами сурьмы / Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич // Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2024. – С. 37-42.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/48712-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherМинск : БГУru_RU
dc.titleМодификация при хранении пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами сурьмыru_RU
dc.typeArticleru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
37-42.pdf378.8 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.