Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/48712| Название: | Модификация при хранении пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами сурьмы |
| Авторы: | Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. |
| Дата публикации: | 2024 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание: | Бринкевич, Д. И. Модификация при хранении пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами сурьмы / Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич // Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2024. – С. 37-42. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/48712 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 37-42.pdf | 378.8 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.