1. Репозиторий Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  2. Внеуниверситетские публикации ученых Полоцкого государственного университета имени Евфросинии Полоцкой
  3. Публикации в зарубежных изданиях
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/49753
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБринкевич, Д. И.-
dc.contributor.authorГринюк, Е. В.-
dc.contributor.authorПросолович, В. С.-
dc.contributor.authorЗубова, О. А.-
dc.contributor.authorКолос, В. В.-
dc.contributor.authorБринкевич, С. Д.-
dc.contributor.authorВабищев, С. А.-
dc.date.accessioned2026-03-27T11:00:09Z-
dc.date.accessioned2026-03-27T11:00:09Z-
dc.date.available2026-03-27T11:00:09Z-
dc.date.available2026-03-27T11:00:09Z-
dc.date.issued2025-
dc.identifier.citationПленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии / Д. И. Бринкевич, Е. В. Гринюк, В. С. Просолович [и др.] // Микроэлектроника. – 2025. – Т. 54, № 1. – С. 55-63. – DOI 10.31857/S0544126925010068.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.psu.by/handle/123456789/49753-
dc.language.isoruru_RU
dc.titleПленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнииru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.doi10.31857/S0544126925010068-
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях
Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
55-63.pdf3.94 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Recommend this item Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.