Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.psu.by/handle/123456789/49753| Название: | Пленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии |
| Авторы: | Бринкевич, Д. И. Гринюк, Е. В. Просолович, В. С. Зубова, О. А. Колос, В. В. Бринкевич, С. Д. Вабищев, С. А. |
| Дата публикации: | 2025 |
| Библиографическое описание: | Пленки фоторезистов серии AZ nLOF на монокристаллическом кремнии / Д. И. Бринкевич, Е. В. Гринюк, В. С. Просолович [и др.] // Микроэлектроника. – 2025. – Т. 54, № 1. – С. 55-63. – DOI 10.31857/S0544126925010068. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.psu.by/handle/123456789/49753 |
| DOI: | 10.31857/S0544126925010068 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях Публикации в зарубежных изданиях |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 55-63.pdf | 3.94 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.