Электронно-ионный источник для реализации комбинированного воздействия на поверхность

Abstract

Демонстрируется разработанная конструкция электродной структуры с системой ее электропитания, позволяющая осуществлять попеременное извлечение электронов и ионов из плазмы газового разряда и реализовывать комбинированное ионно-электронное воздействие на поверхность материала пучками низкоэнергетичных заряженных частиц. Представлены полученные экспериментальные характеристики разработанных структур. Результаты проведенного исследования свидетельствуют о возможности применения подобных структур для реализации ряда технологий модификации поверхностей.= the developed design of electrode structure with system of its power supplies is presented, allowing to carry out alternate extraction electrons and ions from gas discharge plasma and to realise the combined influence on a surface of a material bunches low energetic the charged particles are ions and electrons. the received experimental characteristics of the developed structures are presented. the received results testify to possibility of application of similar structures for realisation of some technologies of updating of surfaces.