Особенности сенсорного отклика термокаталитических газовых сенсоров с различным типом нагревателя

Abstract

Рассмотрены особенности сенсорного отклика термокаталитического газового сенсора (типа пеллистор) с нагревателем из монокристаллического кремния и установлены его отличия от сенсорного отклика сенсора, изготовленного по стандартной технологии с нагревателем из платиновой спирали. Эти особенности связаны с нелинейностью вольтамперной характеристики сенсора с нагревателем из монокристаллического кремния. В отличие от каталитического сенсора с платиновым нагревателем, для сенсора с нагревателем из монокристаллического кремния существуют две области отклика: область положительных и область отрицательных значений изменения выходного напряжения сенсора. Установлено, что при воздействии на каталитический сенсор водорода или оксида углерода положительная составляющая сенсорного отклика имеет ярко выраженный максимум при токе нагревателя в 24 и 28 мA соответственно.