Легированные оксиды титана как основа для формирования чувствительных элементов газовых сенсоров

Abstract

Рассмотрены способы получения и применения пленок диоксида титана, в том числе особенности формирования пленок диоксида титана золь-гель методом. Приводятся результаты работы по созданию чувствительных слоев для адсорбционных датчиков резистивного типа на основе TiO2. Особенности технологического процесса формирования заключаются в попытке соединить воедино два направления получения пленочных покрытий: тонкопленочную и толстопленочную технологии. Применение в качестве связующего компонента и пластификатора золя диэтоксидихлортитана TiCl2(OC2H5)2 позволило эффективно создавать широкий класс оксидных покрытий с легко контролируемым составом примесных элементов. Установлено, что сформированные структуры проявляют чувствительность к пропану, метану и водороду. Показана перспективность работ по созданию чувствительных элементов сенсоров на основе легированных оксидов титана.