Browsing by Author Черный, В. В.
Showing results 1 to 2 of 2
Issue Date | Title | Author(s) |
2022 | Индентирование облученных электронами пленок позитивных новолачных фоторезистов на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Черный, В. В.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
2023 | Прочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Черный, В. В.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |