Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/39122| Title: | Индентирование облученных электронами пленок позитивных новолачных фоторезистов на кремнии |
| Authors: | Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Черный, В. В. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Минск : БНТУ |
| Citation: | Индентирование облученных электронами пленок позитивных новолачных фоторезистов на кремнии / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2022 : материалы 15-й Международной научно-технической конференции, 16-18 ноября 2022 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 144-145. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/39122 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 144-145.pdf | 319.94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.