Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/47914
Title: | Прочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра |
Authors: | Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Черный, В. В. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. |
Issue Date: | 2023 |
Publisher: | Минск : БНТУ |
Citation: | Прочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 290-291. |
URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/47914 |
Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
290-291.pdf | 303.78 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.