Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/47914
Title: Прочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра
Authors: Бринкевич, Д. И.
Просолович, В. С.
Черный, В. В.
Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Issue Date: 2023
Publisher: Минск : БНТУ
Citation: Прочностные свойства пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120, имплантированных ионами серебра / Д. И. Бринкевич [и др.] // Приборостроение-2023 : материалы 16-й Международной научно-технической конференции, 15-17 ноября 2023 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (пред.) [и др.]. – Минск : БНТУ, 2023. – С. 290-291.
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/47914
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
290-291.pdf303.78 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.