Микротвердость структур полимер - кремний

Abstract

Методом индентирования исследованы прочностные характеристики пленок статистического сополимера метакриламид - метилметакрилат на пластинах монокристаллического кремния. Установлено, что при нагрузках примерно 20 г имеет место переход от упругой к пластической деформации композиций полимер - кремний. С увеличением толщины полимерной пленки микротвердость композиции пленка - подложка снижалась. Это обусловлено тем, что на прочностные свойства пленок оказывает существенное влияние наличие сильной адгезионной связи между кремнием и сополимером. Прочностные характеристики существенно зависели от состава и толщины полимерной пленки. Для пленок толщиной 80 мкм зависимости микротвердости от нагрузки схожи с аналогичными зависимостями, характерными для пленок твердых материалов - с увеличением нагрузки на индентор микротвердость снижается и выходит на постоянное значение. Для тонких пленок (толщиной менее 15 мкм) наблюдался эффект ориентационного упрочнения (увеличение микротвердости при возрастании нагрузки).