Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/15993
Название: Микротвердость структур полимер - кремний
Авторы: Вабищевич, Н. В.
Вабищевич, С. А.
Бринкевич, Д. И.
Бринкевич, С. Д.
Дата публикации: 2009
Издатель: Полоцкий государственный университет
Библиографическое описание: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2009. - № 9. - C. 97-102.
Аннотация: Методом индентирования исследованы прочностные характеристики пленок статистического сополимера метакриламид - метилметакрилат на пластинах монокристаллического кремния. Установлено, что при нагрузках примерно 20 г имеет место переход от упругой к пластической деформации композиций полимер - кремний. С увеличением толщины полимерной пленки микротвердость композиции пленка - подложка снижалась. Это обусловлено тем, что на прочностные свойства пленок оказывает существенное влияние наличие сильной адгезионной связи между кремнием и сополимером. Прочностные характеристики существенно зависели от состава и толщины полимерной пленки. Для пленок толщиной 80 мкм зависимости микротвердости от нагрузки схожи с аналогичными зависимостями, характерными для пленок твердых материалов - с увеличением нагрузки на индентор микротвердость снижается и выходит на постоянное значение. Для тонких пленок (толщиной менее 15 мкм) наблюдался эффект ориентационного упрочнения (увеличение микротвердости при возрастании нагрузки).
Ключевые слова: Энергетика
Полупроводниковые материалы и изделия
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.psu.by/handle/123456789/15993
Права доступа: open access
Располагается в коллекциях:2009, № 9

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
97-102.pdf284.61 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.