Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/16328Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Вабищевич, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Вабищевич, Н. В. | - |
| dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2016-04-04T11:15:59Z | - |
| dc.date.available | 2016-04-04T11:15:59Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2008. - № 3. - C. 110-113. | ru_RU |
| dc.identifier.issn | 2070-1624 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/16328 | - |
| dc.description.abstract | Исследовано изменение микротвердости монокристаллического кремния при высокоэнергетичной имплантации ионов бора. Обнаружено упрочнение приповерхностного слоя (толщиной до 1 мкм) пластин, обусловленное формированием в указанном слое дефектов предположительно междоузельного типа. Эффект приповерхностного радиационного упрочнения существенно зависит от энергии и дозы имплантируемых ионов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Полоцкий государственный университет | ru_RU |
| dc.relation.ispartof | Веснік Полацкага дзяржаўнага ўніверсітэта. Серыя C, Фундаментальныя навукі | be_BE |
| dc.relation.ispartof | Herald of Polotsk State University. Series C, Fundamental sciences | en_EN |
| dc.relation.ispartof | Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | Серия C, Фундаментальные науки;2008. - № 3 | - |
| dc.rights | open access | ru_RU |
| dc.subject | Энергетика | ru_RU |
| dc.subject | Полупроводниковые материалы и изделия | ru_RU |
| dc.title | Микротвердость пластин кремния, имплантированных высокоэнергетичными ионами бора | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 621.315.592 | - |
| Appears in Collections: | 2008, № 3 | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 110-113.pdf | 327.71 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.