Сравнительный анализ физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией

Abstract

Методом микроиндентирования исследованы эпитаксиальные структуры кремния, полученные методами газофазной и жидкофазной эпитаксии. Установлено, что прочностные характеристики эпитаксиальных слоев существенно зависят от метода получения (газофазная или жидкофазная эпитаксия) и определяются их дефектно-примесным составом. Наблюдалось нормальное гауссово распределение величин микротвердости эпитаксиальных слоев. Показано, что технологические примеси и дислокации упрочняют эпитаксиальные структуры. Добавление в раствор-расплав примеси иттербия снижает микротвердость выращиваемых эпитаксиальных пленок. = Epitaxial structures of silicium, obtained with the help of liquid- and gaseous-phase epitaxy methods, are examined by the microhardness methods. It is found that strength properties of epitaxial layers are dependant significantly on the applied method (liquid- and gaseous-phase epitaxy) and is determined by their defective-impurity composition. Normal Gaussian distribution of values of epitaxial layers of microhardness was observed. It was demonstrated that technological impurities Yb strengthen microhardness of the grown epitaxical films.