Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/1827
Title: Сравнительный анализ физико-механических свойств эпитаксиальных слоев кремния, полученных газофазной и жидкофазной эпитаксией
Authors: Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Просолович, В. С.
Other Titles: Comparative Analysis of Mechanical-And-Physical Properties of Epitaxial Layers of Silicium Obtained With the Help of Gaseous- and Liquid-Phase Epitaxy
Issue Date: 2010
Publisher: Полоцкий государственный университет
Citation: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия B, Промышленность. Прикладные науки : научно-теоретический журнал. – Новополоцк : ПГУ, 2010. - № 2. – C. 104-109.
Abstract: Методом микроиндентирования исследованы эпитаксиальные структуры кремния, полученные методами газофазной и жидкофазной эпитаксии. Установлено, что прочностные характеристики эпитаксиальных слоев существенно зависят от метода получения (газофазная или жидкофазная эпитаксия) и определяются их дефектно-примесным составом. Наблюдалось нормальное гауссово распределение величин микротвердости эпитаксиальных слоев. Показано, что технологические примеси и дислокации упрочняют эпитаксиальные структуры. Добавление в раствор-расплав примеси иттербия снижает микротвердость выращиваемых эпитаксиальных пленок. = Epitaxial structures of silicium, obtained with the help of liquid- and gaseous-phase epitaxy methods, are examined by the microhardness methods. It is found that strength properties of epitaxial layers are dependant significantly on the applied method (liquid- and gaseous-phase epitaxy) and is determined by their defective-impurity composition. Normal Gaussian distribution of values of epitaxial layers of microhardness was observed. It was demonstrated that technological impurities Yb strengthen microhardness of the grown epitaxical films.
Keywords: материаловедение
газофазная эпитаксия
жидкофазная эпитаксия
физико-механические свойства
эпитаксиальные слои кремния
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/1827
metadata.dc.rights: open access
Appears in Collections:2010, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
104-109.pdf302.64 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.