Разработка принципов формирования электронных пучков с помощью плазменных образований» по заданию «Разработать принципы формирования электронных и вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднеча-стотного разрядов в магнетронных распылительных системах для модификации поверхности твердых тел

Abstract

Объектом исследований являются газоразрядные структуры, формирующие плазму с эмиссионными свойствами, достаточными для создания высокоэффективных технологических плазменных источников электронов Цель работы – Разработка физических принципов формирования и стабилизации тока в условиях высокоэффективной эмиссии электронов из плазмы и создание на их основе конструк-ций плазменных источников электронов различного технологического назначения. В результате выполнения работы разработана модель и предложены механизмы возник-новения неустойчивостей эмиссионного тока, на основе анализа генераторов плазмы высоко-вольтных плазменных источников электронов и численного моделирования низковольтных элек-тронно-оптических систем формирования электронных пучков с сечением порядка нескольких квадратных сантиметров при наличии и в отсутствии сеточной стабилизации разработаны и из-готовлены два типа экспериментальных конструкций источников электронов с ускоряющим напряжением до 5 kВ и плотностью мощности в пучке порядка 107 Вт/м2.