Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/21972| Title: | Разработка принципов формирования электронных пучков с помощью плазменных образований» по заданию «Разработать принципы формирования электронных и вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднеча-стотного разрядов в магнетронных распылительных системах для модификации поверхности твердых тел |
| Authors: | Груздев, В. А. |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет |
| Citation: | Разработка принципов формирования электронных пучков с помощью плазменных образований» по заданию «Разработать принципы формирования электронных и вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднечастотного разрядов в магнетронных распылительных системах для модификации поверхности твердых тел : отчет о НИР (заключ.) / Полоцкий государственный университет ; рук. В. А. Груздев. – Новополоцк, 2013. – 92 с.– № ГР 20111981. |
| Keywords: | отчет о НИР |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/21972 |
| Appears in Collections: | Электрофизика. Плазменные эмиссионные системы. Отчеты о НИР-2013 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 20111981.pdf | 149.83 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.