Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.psu.by/handle/123456789/24596
Title: Термическое дефектообразование в кремнии, легированном золотом
Authors: Петров, В. В.
Бринкевич, Д. И.
Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Issue Date: 2008
Publisher: Полоцкий государственный университет
Citation: Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2008. - № 9. - C. 103-106.
Abstract: Исследовано влияние диффузионного легирования золотом на электрофизические свойства термообработанного кремния, полученного методом Чохральского. Показано, что присутствие золота снижает концентрацию центров зарождения термодоноров, имеющих «ростовое» происхождение. Последнее обстоятельство обусловливало уменьшение их начальной скорости; с другой стороны, примесь золота снижала вероятность распада термодоноров, приводящего к их трансформации в электрически пассивное состояние, что приводило к увеличению концентрации термодоноров при длительном нагреве. Термообработка при температурах свыше 600 ºС вызывала потерю примеси золота своей электрической активности. Существенных различий в кинетиках накопления высокотемпературных термодоноров в контрольном материале и в Si:Au не наблюдалось, так как в данном случае атомы золота покидали узловое положение в решетке и уходили на стоки. Закалка кристаллов Si:Au от 1100…1300 ºС возвращала атомы золота в электрически активное положение замещения.
Keywords: Государственный рубрикатор НТИ - ВИНИТИ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Термообработанный кремний
Диффузионное легирование золотом
URI: https://elib.psu.by/handle/123456789/24596
Appears in Collections:2008, № 9

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
103-106.pdf395.5 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.