Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/32402| Title: | Прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии |
| Authors: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Колос, В. В. Зубова, О. А. Vabishchevich, S. Vabishchevich, N. Brinkevich, D. Prosolovich, V. Kolos, V. Zubova, O. |
| Other Titles: | Strength Properties of Photoresists for Explosive Lithography |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Полоцкий государственный университет |
| Citation: | Вабищевич, С. А. Прочностные свойства фоторезистов для взрывной литографии / С. А. Вабищевич, Н. В. Вабищевич, Д. И. Бринкевич, В. С. Просолович, В. В. Колос, О. А. Зубова // Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки. - 2022. - № 4. - С. 49-55. |
| Abstract: | Исследованы адгезионные и прочностные свойства пленок фоторезиста (ФР) для взрывной литографии NFR 016D4, нанесенных на поверхность пластин монокристаллического кремния марки КДБ-10 методом центрифугирования. Установлено, что они ведут себя как хрупкие материалы. Микротвердость ФР, измеренная при малых нагрузках, составляла ~0,3 ГПа, слабо снижаясь при увеличении толщины пленки. Параметры трещиностойкости (коэффициент вязкости разрушения K1С и эффективная энергия разрушения γ) при малых нагрузках не зависят от толщины пленки. Скорость возрастания трещиностойкости при увеличении нагрузки зависела от толщины пленки и была большей для тонких пленок. Удельная энергия отслаивания G при нормальной нагрузке составляла ~1,2 Дж/м2 для толстых и ~0,7 Дж/м2 для тонких пленок. Более высокие значения G для толстых пленок обусловлены, вероятнее всего, компенсацией полей упругих напряжений, возникающих на границе раздела фоторезист/кремний. Проведено сравнение прочностных свойств фоторезиста для взрывной литографии NFR 016D4 и позитивного диазохинон-новолачного фоторезиста ФП9120. |
| URI: | https://elib.psu.by/handle/123456789/32402 |
| metadata.dc.rights: | open access |
| metadata.dc.identifier.doi: | 10.52928/2070-1624-2022-38-4-49-55 |
| Appears in Collections: | 2022, № 4 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.