Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.psu.by/handle/123456789/3500Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Довгяло, Д. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-08-09T20:18:33Z | - |
| dc.date.available | 2014-08-09T20:18:33Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.isbn | 978-985-531-360-2 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.psu.by/handle/123456789/3500 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Предназначен для студентов радиотехнических факультетов, аспирантов и преподавателей. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.subject | Технологические процессы в полупроводниковой технологии | ru_RU |
| dc.subject | Технологические процессы в гибридной технологии | ru_RU |
| dc.subject | Сборка и герметизация микросхем | ru_RU |
| dc.subject | Изготовление и эксплуатация микросхем | ru_RU |
| dc.title | Проектирование и системы автоматизированного проектирования интегральных микросхем, микроэлектроника и микросхемотехника: учебно-методический комплекс для студентов специальностей 1-39 02 01 «Моделирование и компьютерное проектирование радиоэлектронных средств», 1-36 04 02 «Промышленная электроника» / В 2 ч. Ч. 1. Технология микроэлектронных устройств | ru_RU |
| dc.type | Working Paper | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 621.38(075.8) | - |
| Appears in Collections: | УМК | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| УМК Довгяло.pdf | 3.02 MB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.