Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://elib.psu.by/handle/123456789/3500
Название: Проектирование и системы автоматизированного проектирования интегральных микросхем, микроэлектроника и микросхемотехника: учебно-методический комплекс для студентов специальностей 1-39 02 01 «Моделирование и компьютерное проектирование радиоэлектронных средств», 1-36 04 02 «Промышленная электроника» / В 2 ч. Ч. 1. Технология микроэлектронных устройств
Авторы: Довгяло, Д. А.
Дата публикации: 2012
Аннотация: Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств. Предназначен для студентов радиотехнических факультетов, аспирантов и преподавателей.
Ключевые слова: Технологические процессы в полупроводниковой технологии
Технологические процессы в гибридной технологии
Сборка и герметизация микросхем
Изготовление и эксплуатация микросхем
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.psu.by/handle/123456789/3500
Располагается в коллекциях:УМК

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
УМК Довгяло.pdf3.02 MBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.